Perfecting Chucks. Chucks und Clamps für jede Anwendung.

ASML Berlin hat langjährige Erfahrung und eine umfassende Expertise im Entwickeln und Fertigen von innovativen Chuck-Lösungen für die verschiedenen Bearbeitungsschritte in der Halbleiterindustrie.

Chucks und Clamps für die Halbleiterausrüstungsindustrie

Diese Vakuum Chucks und elektrostatischen Clamps werden individuell designed und gefertigt und müssen alle unterschiedlichen Anforderungen erfüllen. ASML Berlin weiß, welche Möglichkeiten es gibt, die verschiedenen Spezifikationen zu erreichen und die ideale Lösung zu realisieren.

Unter dem Titel „Perfecting Chucks“ haben wir mehrere Dokumente veröffentlicht, in denen die unterschiedlichen Lösungsansätze, Herangehensweisen und Tests beschrieben werden, die dazu führen, die herausfordernden Spezifikationen der Halbleiterausrüstungsindustrie zu erfüllen.

Im Folgenden finden Sie diese Dokumente. Alle Dokumente sind in englischer Sprache:

Informationen

PERFECTING CHUCKS: CUSTOMIZED PIN PATTERNS

PERFECTING CHUCKS: VACUUM CHUCKING FOR WARPED WAFERS

White Paper

PERFECTING CHUCKS: WAFER BACKSIDE PARTICLE REDUCTION

PERFECTING CHUCKS: CLAMPING FORCE AND FLATNESS

Rapid Prototyping und Testcenter für die Verkürzung von Entwicklungszyklen

Testcenter für das Überprüfen des Grundprinzips des Chuck-Designs früh in der Entwicklungsphase

ASML Berlin hat die Möglichkeit, früh im Entwicklungsprozess das Chuck-Design zu testen und zu bewerten. Im Rapid Prototyping Verfahren werden Testteile hergestellt, die im Testcenter am Standort Berlin geprüft und bewertet werden. In den Reinräumen dieses Testcenters stehen alle erforderlichen Mess- und Testsysteme zur Verfügung. Die Ergebnisse und Erfahrungen, die durch die gemeinsamen Tests erzielt werden, fließen in das finale Chuck-Design ein. Durch diese Vorgehensweise werden Produkteigenschaften optimiert und gleichzeitig Entwicklungszyklen verkürzt.