perfecting chucks in progress

Perfecting Chucks. Chucks und Clamps für jede Anwendung.

Berliner Glas hat langjährige Erfahrung und eine umfassende Expertise im Entwickeln und Fertigen von innovativen Chuck-Lösungen für die verschiedenen Bearbeitungsschritte in der Halbleiterindustrie.

perfecting chucks - bright & dark sides
Chucks und Clamps für die Halbleiterausrüstungsindustrie

Diese Vakuum Chucks und elektrostatischen Clamps werden kundenindividuell designed und gefertigt und müssen alle unterschiedlichen Anforderungen erfüllen. Berliner Glas weiß, welche Möglichkeiten es gibt, die verschiedenen Spezifikationen zu erreichen und für jeden Kunden die ideale Lösung zu realisieren.

 

Unter dem Titel „Perfecting Chucks“ hat Berliner Glas mehrere Dokumente veröffentlicht, in denen die unterschiedlichen Lösungsansätze, Herangehensweisen und Tests beschrieben werden, die dazu führen, die herausfordernden Spezifikationen der Halbleiterausrüstungsindustrie zu erfüllen.

Im Folgenden finden Sie diese Dokumente. Alle Dokumente sind in englischer Sprache:

Informationen

 

PERFECTING CHUCKS: CUSTOMIZED PIN PATTERNS

 

PERFECTING CHUCKS: VACUUM CHUCKING FOR WARPED WAFERS

White Paper

 

PERFECTING CHUCKS: WAFER BACKSIDE PARTICLE REDUCTION

 

PERFECTING CHUCKS: CLAMPING FORCE AND FLATNESS

Rapid Prototyping und Testcenter für die Verkürzung von Entwicklungszyklen

perfecting chucks - maschine

Testcenter für das Überprüfen des Grundprinzips des Chuck-Designs früh in der Entwicklungsphase

Berliner Glas bietet den Kunden die Möglichkeit, früh im Entwicklungsprozess das Chuck-Design zu testen und zu bewerten. Im Rapid Prototyping Verfahren werden Testteile hergestellt, die gemeinsam mit dem Kunden und den Experten von Berliner Glas im Testcenter am Standort Berlin geprüft und bewertet werden. In den Reinräumen dieses Testcenters stehen alle erforderlichen Mess- und Testsysteme zur Verfügung. Die Ergebnisse und Erfahrungen, die durch die gemeinsamen Tests erzielt werden, fließen in das finale Chuck-Design ein. Durch diese Vorgehensweise werden Produkteigenschaften optimiert und gleichzeitig Entwicklungszyklen verkürzt. 

Falls Sie eine spezifische Herausforderung haben, melden Sie sich bitte bei uns: chucks [at] berlinerglas.de oder kontaktieren Sie direkt Ihren Ansprechpartner.

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Beate Baumgarten
Laser Annealing, Laser Material Processing, Customer Specified Coatings
Tel. +49 30 60 905-277
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Downloads

Information

Perfecting chucks: customized pin patterns (english file)

Information

Perfecting chucks: vacuum chucking for warped wafers (english file)

White Paper

Perfecting chucks: wafer backside particle reduction (english file)

White Paper

Perfecting chucks: clamping force and flatness (english file)

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