Messtechnik

Was wir fertigen, messen wir auch

Um sicherzustellen, dass unsere optischen Komponenten, Baugruppen und Systeme Ihren Anforderungsprofilen entsprechen, nutzen wir umfassende Messtechniken und entwickeln individuelle Messaufbauten. Für kundenspezifische Parameter erstellen wir eigene Software zur Auswertung der Messdaten.

Informationen zu den verschiedenen Methoden der Materialanalyse und Lebensdauertests finden Sie im Unterpunkt Materialanalyse & -qualifikation.

Ausgewählte Messtechnologien

Wellenfront-Messungen

Für die Charakterisierung der Ebenheit optischer Oberflächen sowie der Wellenfrontdeformationen in Reflexion und Transmission stehen diverse Interferometer höchster Genauigkeit (bis λ/20 WF PV) zur Verfügung. Wir besitzen langjährige Erfahrung darin, die Messmittel und Messprozesse auch für Ihr Produkt optimal anzupassen. Es können beispielsweise Messungen in vertikaler oder horizontaler Prüflingspositionierung oder auch Messungen im Reinraum oder im Vakuum durchgeführt werden. Bereits während des Fertigungsprozesses werden die optischen Flächen mit Werkstattinterferometern überprüft.

Phasenschiebende Fizeau-Interferometer für große Planflächen bis 24-Zoll
Interferometer mit kurzer Kohärenzlänge für mehrschichtige Glaslagen
Interferometer mit CGH-Wellenfrontformung für Zylinderflächen bis 100 mm; Stitching entlang Scheitellinie bis 2.000 mm; Radien von 4 mm bis unendlich
Sphäreninterferometer
Stitchinginterferometer für Asphären
Infrarot-Interferometer, 3,4 µm
Shack-Hartmann Wellenfront Sensoren für Wellenlängen von 350 nm bis 1.064 nm und Strahldurchmesser bis 15 mm


Interferometer-Messplätze bei Berliner Glas (Auswahl)

Messbeispiel Zerodur-Planprüfling 305 x 115 mm²

Maß, Form- und Lagemessungen

Taktile 3-D-Koordinatenmessmaschinen

Tastende und scannende Systeme
Messvolumen bis zu (9 x 20 x 8) dm³
Zulässige Längenmessabweichung MPE E nach DIN EN ISO 10360-2 zwischen 0,6 µm + L/600 und 3,0 µm + L/250

Leitz PMM-C 700

measuring sensor configuration - sample picture at Berliner Glas site

Mess-Taster-Konfiguration

Optische Koordinatenmessmaschinen

Z.T. Multisensorgeräte mit taktilem Taster
Messvolumen bis zu (6,5 x 7,5 x 5) dm³
Strukturauflösung bis zu 1 µm
Zulässige Längenmessabweichung E 2D (OT) nach VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 zwischen 1,5 µm + L/250 und 2,8 µm + L/125
Berührungslose Messung der absoluten Position optischer Flächen in mehrlinsigen Systemen, Genauigkeit < 1 µm

OGP Smartscope Vantage 650

Winkelmessung an optischen Bauelementen

Wir verwenden ein Goniometer mit einer Genauigkeit von 15 µrad zur Vermessung von Plan- und Keilplatten, Prismen und Polygonen.

Mikrorauheit

Struktur auf CrN

Weißlichtinterferometer

Vertikale Auflösung bis ca. 0,1 nm
(für Ra < 10 nm)
Laterale Auflösung bis 0,64 µm
NA bis 0,55
Bildfelder bis (7,07x5,30 mm)
Stitching-Algorithmen
Aufnahmen von Objekten bis 800 mm Kantenlänge

Spektrale Reflexions- und Transmissionsmessung

Zur ständigen Kontrolle und Überwachung unserer hohen Qualitätsstandards verwenden wir die Verfahren der spektralen Reflexions- und Transmissionsmessung. Für das Messen der Materialeigenschaften spektrale Transparenz und spektrale Reflektivität sind die Geräte Perkin-Elmer Lambda 19, Lambda 900 und Lambda 950 im Einsatz.

Prinzipskizze Reflexionsmessung

Prinzipskizze Transmissionsmessung

(Zylinderlinsen-) Zentrierung

Linsen- und Objektivprüfvorrichtung
Zentriermessung von einzelnen Linsen und Linsensystemen

Die Messgenauigkeit von bis zu 50 µrad ist abhängig von der Linsengeometrie.

Zylinderlinsenzentrierung
Messunsicherheiten (Genauigkeit) bei der Bestimmung der drei Zentrierfehler von Zylinderlinsen:

Versatz der Scheitellinie	4 µm
Verdrehung der Scheitellinie	25 µrad (bei 100 mm Linsenlänge)
Keilfehler der Linse	16 µrad

Einen Überblick zu den verschiedenen Zylinderlinsen, die wir bei Berliner Glas anbieten, zeigt die Seite Zylinderoptiken.

Abbildungsleistung

MTF-Messplatz

Modulations-Transfer-Funktion (MTF)

Für die Messung der Abbildungsqualität steht eine große MTF-Anlage mit einer maximalen Apertur von 200 mm zur Verfügung. Neben der MTF-Messung können weitere Kenngrößen wie Verzeichnung, Bildfeldwölbung, und Brennweite, für Feldwinkel > 90° gemessen werden. Objekt- und Bildlagen sind in weiten Bereichen von endlich bis unendlich einstellbar.

Messtechnik-Entwicklung

Für spezielle Anforderungen entwickeln wir kunden- und anwendungsspezifische Prüfplätze:

Mit speziell hierfür angepasster Software, die automatisierte Auswertungen erlaubt, decken wir Bereiche ab, die nicht mit Standardverfahren erfasst werden können. Das versetzt uns in die Lage, physikalisch mögliche Leistungsgrenzen zu erreichen und die optimale Qualität Ihrer Produkte zu gewährleisten.