Elektrostatischer Chuck für die Halbleiterindustrie

Halbleiterindustrie. Bis an die Grenzen des Möglichen.

Mit kundenspezifischen Vakuum Chucks, elektrostatischen Chucks, Präzisionsstrukturbauteilen, Referenzspiegeln und Stage Modulen sorgen wir für höchste Ausbeute in der leistungsstarken Chipherstellung. Unsere Produkte werden in komplexen Halbleiter-Produktionsanlagen eingesetzt und erfüllen höchste Qualitätsansprüche.

Von der Technologieentwicklung, über die Produktentwicklung bis hin zur Serienfertigung bieten wir am Standort Berlin alles aus einer Hand an.

Unsere Kunden schätzen die optimale Kombination unserer Kompetenzen in Bezug auf die Besonderheiten des Halbleitermarktes. Wir sehen es als unsere herausragende Fähigkeit an, gemeinsam mit unseren Kunden durch neue technologische Lösungen immer wieder technische Grenzen zu überwinden.

Einsatz­bereiche

Unsere Komponenten und Systeme werden in vielen Bereichen der Halbleiterindustrie eingesetzt, so zum Beispiel

  • in der Lithographie,
  • der Inspektion,
  • für das Waferbonden und
  • für das Wafer Handling.

Weitere Infor­mationen

Sie finden weitere Details zu unseren Kompetenzen und unseren Produkten hier:

Downloads

Datenblatt

Vacuum Chuck (english file)

Datenblatt

Electrostatic Chuck (english file)

Datenblatt

Modules for the semiconductor industry (english file)

Recht auf Widerruf

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Waldkraiburger Straße 5
12347 Berlin, Deutschland

Tel. +49 30 60 905-0
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