berliner glas - optical modules for your products

Chuck-Design.

Lösungen für Hochleistungsanwendungen.

Berliner Glas entwickelt innovative Chuck Lösungen für verschiedenste anspruchsvolle Bearbeitungsschritte in der Halbleiterindustrie.

 

  • Vakuum Chucks
  • Elektrostatische Chucks (ESCs bzw. eChucks)

Unsere Kompetenzen

Chuck-Aufbau
  • Chucks für Wafer bis zu 450 mm (18 inch)
  • Chucks für Masken (Reticle)
  • Kundenspezifische Formate bis 400x500 mm²
  • Ein- oder beidseitiges Clampen
  • Genaues Temperieren bis auf wenige mK
  • Integrierte Heiz- und Kühlfunktion (optional)
  • Hybrid-Chucks (ESC & Vakuum Chuck kombiniert)
  • Große Bandbreite funktionaler Oberflächenbeschichtungen

Berliner Glas - electrostatic chuck (e-chuck/ESC) design with features

Chuck-Aufbau (ESC) mit Features

ESC spezifisch:

  • Coulomb Typ mit bis zu 8 Elektroden pro Seite
  • Ein- oder mehrpolare Elektroden (mono- und bipolare Systeme)

Vakuum Chuck spezifisch:

  • Bis zu 4 separate Vakuumsegmente
  • Unterstützt sowohl rotierende als auch laterale Plattformen
Ebenheit

 

sample screen for measuring the flatness of a chuck

Globale Ebenheit < 100 nm über 298 mm
  • Globale Ebenheit bis zu 100 nm PV (D=298 mm)
  • Lokale Ebenheit bis zu 10 nm PV (20x20 mm2)
  • Spezifische Anforderungen an die Ebenheit gemäß der Applikation erfüllbar
Formkontrolle
  • Anziehen von gebogenen Wafern = Warped Wafer Chucking
  • Sicheres Halten von Warped Wafern
  • Gezielte Einstellung von Wafer-Chuck-Formen
Klemmdruck

 

sample screen for clampforce in time

Klemmdruck-Zeit-Auswertung

Homogene Klemmkraft über die gesamte Clampfläche

 

  • Bis zu 0,5 bar Klemmdruck für ESCs und bis zu 1 bar für Vakuum Chucks
  • Zeitkonstanten für Halten und Lösen kleiner 0,1 Sekunden

 

Material
MetalleKeramikenGlas & Glaskeramiken
Aluminium mit BeschichtungSiC, SiSiC
AlN, Si3N4
Al2O3
Cordierit                     		Borosilikatglas
Quarzglas
ULE®, Zerodur®      

 

Berliner Glas - electrostatic chuck (e-chuck/ESC) made of SiSiC and glass

Elektrostatischer Chuck aus Glas und Keramik
  • Chuck-Materialien mit siliziumangepassten Eigenschaften
  • Materialien mit "Nullausdehnung"
  • Materialien mit hoher Steifigkeit
  • Materialien mit hoher Wärmeleitfähigkeit und Abriebfestigkeit
  • Kombination verschiedener Materialien zur Sicherstellung höchster Performance
  • Alle Materialien erfüllen den Halbleiter-Standard

 

Mikrostruktur

Berliner Glas - burl structure on an electrostatic chuck (e-chuck/ESC)

Noppen-Struktur eines elektrostatischen Chuck

Noppen-Strukturen reduzieren die Kontaktfläche des Wafers zum Chuck um den Faktor 100 (1 % Kontaktfläche)

  • Kein Sticking zwischen Wafer und Chuck
  • Sehr geringe Partikelsensitivität
  • Noppengröße bis 300 µm im Durchmesser
Test & Qualifizierung

    In unserem Labor qualifizieren wir Testteile sowie Mess- und Referenzteile und führen Testreihen durch, um die Serienproduktion sicherzustellen.

     

    inteferometer measurement at Berliner Glas

    Messung am Interferometer

    Mögliche Qualifikationen:

    • Ebenheitsmessung mittels Interferometer (bis 24 Zoll horizontalem und 12 Zoll vertikalem Strahlengang)
    • Kundenspezifische Software für die Auswertung hochgenauer Ebenheiten
    • Elektrische Qualifikation in anwendungsnaher Umgebung (Hochspannungstest)
    • Clampkraft Messung
    • Restgasanalyse (RGA)
    • Backside Kontaminationsanalysen
    • Durchflusstests für Kühlflüssigkeiten und Gas

    Ihr Fachkontakt

    Wählen Sie Ihren Ansprechpartner, fragen Sie per Kontaktformular direkt bei uns an oder lassen Sie sich von uns zurückrufen.

    Halbleiterindustrie
    Sven Götze
    Tel. +49 30 60 905-4818
    sven.goetze [at] berlinerglas.de

    Downloads

    technical data vacuum chuck / specifications vacuum chuck
    Datenblatt

    Vacuum Chuck (english file)

    (653 KB)

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