Entwicklung und Herstellung von optischen Systemen für die Inspektion kleinster Strukturen

Semiconductor Inspektion.

Feinste Strukturen und Dimensionen auflösen.

Der Trend zu immer kleineren Strukturen auf den Halbleiterchips ist ungebrochen. Zur Inspektion werden heute optische Instrumente im DUV Bereich (< 300nm) eingesetzt.

 

Am Standort Heerbrugg beherrschen wir das Design, die Herstellung und die Qualifizierung von hochgenauen optischen Baugruppen, welche in der Lage sind, kleinste Strukturen aufzulösen.

 

Wir beliefern Anlagenhersteller für das Front End in der Halbleiterindustrie mit kompletten Baugruppen, welche Optiken als zentrale Funktion einsetzen.

Unsere Kompetenzen

DUV - Messtechnik

Qualifikation von DUV Bauteilen

Qualifikation von DUV Bauteilen

Die Herstellung von hochwertigen optischen Systemen und Komponenten im DUV Bereich (< 300nm) erfordert spezifisches Know-how in der optischen Messtechnik.

 

Wir entwickeln kundenspezifische Messtechnik, um Objektive und optische Baugruppen mit höchsten Genauigkeitsanforderungen zu messen, zu justieren und zu qualifizieren.

Montage und Messungen unter Reinraumbedingungen

Die Herstellung, Lagerung, Montage und Qualifizierung von optischen Komponenten und Baugruppen muss über die gesamte Supply Chain unter kontrollierten Umweltbedingungen erfolgen. Ein zentrales Element dabei ist die Minimierung von Partikelkontamination.

 

Montage unter Reinraumbedingungen

Montage unter Reinraumbedingungen

Reinraumfertigung

 

Am Standort in Heerbrugg betreiben wir dabei Reinräume der Klasse ISO 5 (100) mit hoch-reinen Arbeitszonen unter Flow Boxen. Speziell für die Fertigung von Optiken für 193nm verfügen wir über höchstwertige Reinräume mit VOC (volotile organic compounds) kontrollierter Luft, wobei die VOC Anteile auf unter 2ng/l (Nanogramm pro Liter) herausgefiltert werden.

Hochgenaue optische Baugruppen

Qualifikation von DUV Bauteilen

Qualifikation von DUV Bauteilen
Die Montage und Messung von hochpräzisen optischen Baugruppen gehört zu unseren Kernkompetenzen.

 

Die Formgenauigkeit einzelner Komponenten bis unter λ/100 bildet hierfür die Basis. Um Genauigkeiten der Wellenfront der gesamten Baugruppe von unter λ 0.01 RMS zu erreichen, sind ausgereifte Konzepte in der Fassungstechnik, Zentrierung, Justagetechnik und in der Messtechnik erforderlich.

Spezielle Komponenten

Spezielle Komponenten bilden das Herzstück einer optischen Baugruppe.

Am Standort Heerbrugg beherrschen wir insbesondere die Herstellung von Verzögerungsplatten im DUV Bereich mit einer Genauigkeit von bis zu λ 1/100. Weitere Präzisionskomponenten in unserem Portfolio sind optisch-kontaktierte Strahlteiler, Tunnels zur Strahlhomogenisierung sowie komplexe, optisch kontaktierte Spiegelsysteme.

Spezifisches Design- und Produktions-Know-how…

 

… für Optiken in der Halbleiterindustrie

 

Zur Herstellung von Komponenten und optischen Baugruppen im DUV Bereich wird eine Vielzahl spezifisch entwickelter Fertigungstechnologien benötigt:

 

Mittels Feinkorrektur von Linsen und Prismen werden Formgenauigkeiten von unter λ/100 erzielt. Die Mikrorauheit von unter 0.3nm (3A) ist nötig um Streulichteffekte zu minimieren und die Lebensdauer der Komponenten zu verlängern.

 

Beschichtungen mit hoher Zerstörungsschwelle (high Laser Damage threshold) minimieren Reflexionsverluste.  Nicht zuletzt ist die Reinigungstechnologie von Optiken und Mechaniken entscheidend, um den Sauberkeitsanforderungen gerecht zu werden.

 

Optische Oberfläche vor der Feinkorrektur

Optische Oberfläche nach der Feinkorrektur

Optische Oberflächen vor und nach der Feinkorrektur

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