Newscenter | Berliner Glas

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Aktuelle Pressemitteilung

Wafer Chucks für die Inspektion und weitere Anwendungen

Berliner Glas beliefert die Halbleiterindustrie mit hochpräzisen, kunden-spezifischen Wafer Chucks. Die Inspektions- und Prüfsysteme profitieren von einer außerordentlich präzisen Anpassung und Dokumentation der Ebenheit sowie von technisch hochentwickelten Materialien.

Berlin, 24. Januar 2013

Mit leichten und gleichzeitig sehr festen sowie funktional optimierten Materialien auf Basis von leistungsstarkem Glas, Glaskeramik und Keramik sind wir gerüstet für 450 mm.

Spezielle Anforderungen wie etwa hochgeschwindigkeits-rotierende Chucks mit äußersten Ansprüchen bezüglich des Planlaufs können durch Verwendung ebensolcher Materialien erfüllt werden.
Die thermische Beeinflussung der Ebenheit der Wafer wird durch den Gebrauch von kühlenden und an den Ausdehnungskoeffizienten angepassten Materialien kontrolliert. In der Kombination mit neuen Algorithmen für die Erstellung von optimalen Mesa-Strukturen wird eine Ebenheit erzielt, die den jeweiligen Bedürfnissen der Anwendung optimal entspricht.

Sehr schnelle Chucking und De-chucking Zeiten von weniger als einer halben Sekunde sowohl für elektrostatische Chucks des Coulomb-Typen als auch für Vakuum-Chucks erhöhen den Wafer Durchlauf und führen zu einer hohen Effizienz der Inspektionssysteme. Eine feste Keramikbeschichtung minimiert die Hafteigenschaften der Wafer und verbessert die Lebensdauer der elektrostatischen und Vakuum-Chucks. Eine intelligente elektrische Ansteuerung optimiert die Chucking und De-chucking Leistungsfähigkeit durch die Minimierung von spezifischen Polarisierungseffekten.

Die Materialien werden entsprechend ihres Anwendungsgebietes ausgewählt und im Hinblick auf Temperaturanforderungen, die Strahlungsart und weitere kritische physikalische Aspekte konstruiert.
Aufgrund der variierenden Eigenschaften dieser Materialien wird die Chucking Leistung wie Haltekraft und Homogenität mit Hilfe eines speziellen Interferometers gemessen.
Die Fähigkeit, die wirksame Haltekraft durch spezielle Parameter des Materials zu verändern, kombiniert mit einer hoch-effektiven, dreidimensionalen FE-Analyse des elektrostatischen Chucks, ermöglicht die kontinuierliche Entwicklung von neuen fortschrittlichen elektrostatischen Chucks.

Die Berliner Glas Gruppe wird ein breites Spektrum ihrer Produkte und Lösungen auf der Photonics West vom 05. bis 07. Februar 2013 (Stand Nummer 2228) in San Francisco, Kalifornien / USA präsentieren.
Bitte besuchen Sie auch die Produktdemonstration der Wafer Chucks für die Inspektion und andere Anwendungen, die am Mittwoch, 06. Februar 2013 um 12:30 Uhr in der Demo Area 2 in der North Hall D gezeigt wird.

Über Berliner Glas:
Die Berliner Glas Gruppe mit rund 1.000 Mitarbeitern ist einer der führenden europäischen Anbieter optischer Schlüsselkomponenten, Baugruppen und Systeme sowie hochwertig veredelter technischer Gläser. Mit dem Verständnis für optische Systeme und optische Fertigungstechnik entwickelt, fertigt und integriert Berliner Glas für seine Kunden Optik, Mechanik und Elektronik zu innovativen Systemlösungen. Diese Lösungen kommen weltweit in der Halbleiterindustrie, der Medizintechnik, der Mess-, Laser- und Weltraumtechnik, der Analytik, Verteidigung oder Displayindustrie zum Einsatz.

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Archiv Pressemitteilungen

2013

2011

2010

Pressebilder

Die aktuellen Pressefotos finden Sie hier. Die Fotos sind ausschließlich mit Copyright-Angaben kontextbezogen zu verwenden und dürfen inhaltlich nicht verändert werden. Belegexemplar erwünscht.

Personen

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Informationen zum Management der weiteren Unternehmensstandorte finden Sie hier:

Produkte

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Veranstaltungen / Messen

Hier finden Sie die Veranstaltungen gelistet, bei denen die Unternehmen der Berliner Glas Gruppe ausstellen.

Ihre Fragen rund um das Thema Messen und Veranstaltungen der Berliner Glas Gruppe richten Sie bitte an: marketing@berlinerglas.de

Datum	Ort	Halle/Stand
21.-25. Mai 2013	Braunschweig, DE
9.-11. Juli 2013	San Francisco/CA, USA	South Hall, Stand 2235
20.-22. November 2013	Düsseldorf, DE	Halle 8a, IVAM Gemeinschaftsstand

Anmeldung Presseverteiler

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