Semicon Optics | Berliner Glas

Der Trend zu immer kleineren Strukturen auf den Halbleiterchips ist ungebrochen. Zur Inspektion werden heute optische Instrumente im DUV Bereich (< 300nm) eingesetzt.

Als zuverlässiger OEM-Partner beliefert die SwissOptic AG Anlagenhersteller für das Front End in der Halbleiterindustrie mit kompletten Optikbausätzen. Die kundenspezifischen Baugruppen mit Optik als zentraler Funktion sind wichtiger Teil der Wertschöpfung und sichern Wettbewerbsvorteile.

Einsatzgebiete dieser Baugruppen sind in erster Linie die Analyse von Masken sowie strukturierten und unstrukturierten Wafern, des Weiteren die Optimierung von Yield und die Erhöhung der Prozesssicherheit.

Anwendungsgebiete

Masken- und Waferinspektion

Optische Baugruppe für die Maskeninspektion

Ein Großteil der produzierten Masken, die zur Belichtung von Wafern eingesetzt wurden, sind mindestens einmal in ihrem Leben durch die hochauflösenden und hochgenauen Optiken von SwissOptic inspiziert worden.

Am Standort Heerbrugg fertigen und qualifizieren wir diese Produkte vollständig mit eigens dafür entwickelter Messtechnik.

Critical Dimensions (CD) und Overlay Inspektion

Kundenspezifisches DUV Objektiv

Bei Half-pitch Abständen von unter 20nm steigen auch die Anforderungen an die Messung des Overlays. Die optischen Baugruppen und Objektive von SwissOptic leisten einen wesentlichen Beitrag zur hohen Performance von Messgeräten und decken den vollen Wellenlängenbereich von DUV (< 300nm) bis ins sichtbare Licht ab.

Weitere Anwendungen für das Front End der Halbleiterindustrie

Qualifikation von DUV Bauteilen

Neben der abbildenden Wafer- und Masken-inspektion werden unsere Produkte in zahlreichen weiteren messtechnischen Anwendungen im Front-End der Halbleiterindustrie eingesetzt, bspw.
für das Vermessen von Masken, das Messen von Schichtdicken oder die Messung von Streulicht. Dabei kommen Wellenlängen vom DUV (< 300nm) bis zum Nahen Infrarot (NIR > 780nm) zum Einsatz.