Semicon Chucks | Berliner Glas

Mit kundenspezifischen elektrostatischen Chucks und Vakuum Chucks bis 450mm sorgt die Berliner Glas Gruppe für höchste Ausbeute in der leistungsstarken Chip- und Displayherstellung sowie anderen fragilen Anwendungen.

Um beispielsweise eine noch größere Anzahl an Transistoren auf einem Chip unterbringen zu können, müssen die Strukturen immer kleiner werden. Dies wird unter anderem durch die EUV-Lithographie ermöglicht. Als einer der Lieferanten, die diese Technologie vorantreiben, unterstützen wir führende Halbleiterausrüster weltweit mit unserem Know-how.

Mit extrem hoher Ebenheit und sehr geringen Abweichungen in der Parallelität, bietet Berliner Glas der Industrie ultraschnelle Chucks für höchste Ausbeute in einer leistungsstarken Anwendung. Wesentliche Vorteile der in Berlin gefertigten Chucks/ Clamps sind u.a. eine integrierte Kühlung/ Heizung sowie ein- oder beidseitiges Halten (Clampen) mit maßgeschneiderten Strukturen.

Anwendungsgebiete

Elektrostatische Chucks

In erster Linie fertigen wir für die Lithographie. Daneben bedient Berliner Glas auch andere Märkte mit Elektrostatischen Chucks bis 450mm, bspw.:

Inspektion und Messtechnik
3D Packaging
O-LED-Herstellung

Passend dazu entwickeln wir konfektionierte HV-Netzteile/ Steuereinheiten mit Möglichkeit der In-situ-Messung wichtiger Kenngrößen.

Berliner Glas Chuck-Muster

Vakuum Chucks

Technisch höchst aufwendig und präzise gefertigte Wafertafeln aus Keramiken (bis 450mm) ermöglichen eine hohe Ausbeute in der Mikrochipfertigung. Circa 80% aller Siliziumwafer weltweit werden auf Vacuum Chucks von Berliner Glas bearbeitet.
Vakuumchucks finden sich unter anderem in Front- und Backendanwendungen der Halbleiterindustrie, in der Lithographie oder Waferinspektion.

Berliner Glas Vakuum Chuck Kanalstruktur
Berliner Glas Vakuum Chuck Noppenstruktur

Glas-, Keramische- und Glas-Keramische Strukturbauteile

Berliner Glas fertigt Strukturbauteile mit CNC-Technik und bietet ungeahnte Möglichkeiten der Formgebung von Glas, Glaskeramik und Keramik. Konturen, die sich aus Geraden, Radien oder willkürlichen Formen zusammensetzen und stufenfrei ineinander laufen, können mit höchster Genauigkeit auch in 3D Technologie gefertigt werden und eröffnen neue Wege in funktioneller Gestaltung und Design.

Spiegel- und Messflächen

Hochgenaue Spiegel- und Messflächen ermöglichen eine präzise Positionsbestimmung von beweglichen Baugruppen per Laser. Für Messverfahren in der Litographie fertigen wir hochpräzise Komponenten wie Mirrorblöcke oder Metrology-Frames aus Glas, Keramik oder Glaskeramik.