Messtechnik für die Inspektion von Masken, Wafern, Schichtdicken und Streulicht

Semicon Optics.

Feinste Strukturen auflösen.

Der Trend zu immer kleineren Strukturen auf den Halbleiterchips ist ungebrochen. Zur Inspektion werden heute optische Instrumente im DUV Bereich (< 300nm) eingesetzt.

 

Als zuverlässiger OEM-Partner beliefert die SwissOptic AG Anlagenhersteller für das Front End in der Halbleiterindustrie mit kompletten Optikbausätzen. Die kundenspezifischen Baugruppen mit Optik als zentraler Funktion sind wichtiger Teil der Wertschöpfung und sichern Wettbewerbsvorteile.

 

Einsatzgebiete dieser Baugruppen sind in erster Linie die Analyse von Masken sowie strukturierten und unstrukturierten Wafern, des Weiteren die Optimierung von Yield und die Erhöhung der Prozesssicherheit.

Anwendungsgebiete

Masken- und Waferinspektion

Optische Baugruppe für die Maskeninspektion

Optische Baugruppe für die Maskeninspektion

Optische Baugruppen für die Inspektion

 

Ein Großteil der produzierten Masken, die zur Belichtung von Wafern eingesetzt wurden, sind mindestens einmal in ihrem Leben durch die hochauflösenden und hochgenauen Optiken der SwissOptic inspiziert worden. 

 

Am Standort Heerbrugg fertigen und qualifizieren wir diese Produkte mit eigens dafür entwickelter Messtechnik vollständig.

Critical Dimensions (CD) und Overlay Inspektion

DUV-Objektiv

Kundenspezifisches DUV-Objektiv

Objektive für die Inspektion

 

Bei Half-pitch Abständen von unter 20nm steigen auch die Anforderungen an die Messung des Overlays.

 

Die optischen Baugruppen und Objektive der SwissOptic leisten einen wesentlichen Beitrag zur hohen Performance von Messgeräten und decken den vollen Wellenlängenbereich von DUV
(< 300nm) bis ins sichtbare Licht ab.

Weitere Anwendungen für das Front End der Halbleiterindustrie

Qualifikation von DUV Bauteilen

Qualifikation von DUV Bauteilen

Optiken für die Halbleiterindustrie

 

Neben der abbildenden Wafer- und Masken-inspektion werden unsere Produkte in zahlreichen weiteren messtechnischen Anwendungen im Front-End der Halbleiterindustrie eingesetzt.

 

Dies sind bspw. das Vermessen von Masken, das Messen von Schichtdicken oder die Messung von Streulicht. Dabei kommen Wellenlängen vom DUV (< 300nm) bis zum Nahen Infrarot (NIR > 780nm) zum Einsatz.

Ihr Fachkontakt

Semicon Optics
Christian Schmitt
Fon +41 71 727-4790
Fax +41 71 727-4686
US Office for Photonics
Kevin Liddane
Fon +1 714 389-1756
Fax +1 714 389-1758