Präzisionslösungen für Lithographie, Wafer-, Reticle Inspektion, 3D Packaging

Semicon Chucks.

Elektrostatische und Vakuum Chucks.

Mit kundenspezifischen elektrostatischen Chucks und Vakuum Chucks für das Clampen von 200, 300 und 450mm Wafern sorgt die Berliner Glas Gruppe für höchste Ausbeute in der leistungsstarken Chip- und Displayherstellung sowie im 3D Packaging, in der Inspektion und anderen Anwendungen.
 

Unsere elektrostatischen und Vakuum Chucks werden in vielen Bereichen eingesetzt: in der Lithographie, der Inspektion, Messtechnik, Displayherstellung und in der Bond-Technologie.

 

Anwendungsgebiete

Elektrostatische Chucks

Die von uns gefertigten elektrostatischen Chucks werden vorrangig im Bereich der Lithographie und Elektronenstrahlinspektion eingesetzt. Die Größe des elektrostatischen Chucks (bis 450mm) und weitere Eigenschaften wie eine sehr hohe Ebenheit (100nm) sowie vielfältige Möglichkeiten der Materialverwendung kennzeichnen unser Chuck-Design.
 

Weitere Informationen zu technischen Details und Spezifikationen erhalten Sie in unserem Datenblatt „Elektrostatischer Chuck“.

 

Unsere elektrostatischen Chucks werden in folgenden Bereichen eingesetzt:

  • (EUV-) Lithographie
  • Elektronenstrahl-Inspektion
  • Messtechnik
  • 3D Packaging
  • Beschichtung (OLED)
  • Bond-Technologie
  • Displayherstellung

 

Elektrostatischer Chuck, Vorderseite

Elektrostatischer Chuck, Rückseite
Elektrostatischer Chuck von Berliner Glas – Vorder- und Rückseite (Muster)
Vakuum Chucks

Wir fertigen Vakuum Chucks (bis 450mm) aus verschiedenen Materialien, wie Keramik und Glaskeramik.
Dabei passen wir das Chuck-Design Ihren Anforderungen individuell an, bspw. für Anwendungen in der Waferinspektion, der Messtechnik und in der Bond-Technologie.

 
Technische Details und Spezifikationen finden Sie in unserem Datenblatt „Vakuum Chuck“.

 

Vakuum Chuck, Vorderseite

Vakuum Chuck, Kanalstruktur
Vakuum Chuck von Berliner Glas (Kanalstruktur)
 

Vakuum Chuck, Rückseite

Vakuum Chuck, Noppenstruktur
Vakuum Chuck von Berliner Glas (Noppenstruktur)
Glas-, Keramische- und Glas-Keramische Strukturbauteile

Berliner Glas fertigt Strukturbauteile mit CNC-Technik und bietet vielfältige Möglichkeiten der Formgebung von Glas, Glaskeramik und Keramik. Dabei zeichnen sich die Strukturbauteile durch eine hohe Steifigkeit, beste Ebenheit und individuelle Leichtgewichtstrukturen aus.

 

Zudem können Konturen, die sich aus Geraden, Radien oder willkürlichen Formen zusammensetzen und stufenfrei ineinander laufen, mit höchster Genauigkeit gefertigt werden. Dies öffnet neue Wege für funktionelle Gestaltung und Design.

 

structural components made by Berliner Glas

Spiegel- und Messflächen

 
Hochgenaue Mirrorblöcke und Metrology-Frames mit Spiegel- und Messflächen ermöglichen eine präzise Positionsbestimmung der Baugruppen.

 
Vor allem die Leichtgewichtung ermöglicht eine wesentlich bessere Performance in dynamischen Prozessen.

Gewichtsreduzierung durch Leichtgewichtsstrukturen
 

Ihr Fachkontakt

Semicon Chucks
Sven Götze
Fon +49 (0)30 60 905-4818
Fax +49 (0)30 60 905-106
US Office for Photonics
Kevin Liddane
Fon +1 714 389-1756
Fax +1 714 389-1758